洁净室等级标准 等级 >=0.5um尘粒数 >=5um尘粒数 等级 颗/立方英尺 颗/立方米 颗/立方英尺 颗/2.83升 换气次数 100 100 3500 / 10 >50
1000 1000 35000 7 100 >30
10000 10000 350000 70 1000 >25
100000 100000 3500000 700 10000 >15
